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◆IR52 장영실상 / 우리마이크론 프로브카드 제조시스템◆ 

`프로브카드 자동 제조 시스템`을 개발한 최종진 연구원, 임채용 연구소장, 김용유 연구원(왼쪽부터).

2009년 제15주차 장영실상 수상의 영예는 반도체 검사에 사용되는 프로브카드를 제조하는 핵심 기술을 개발한 우리마이크론에 돌아갔다. 

이 회사가 개발한 시스템은 `프로브카드용 핀의 자동 벤딩-조립-검사장치(Auto Needle Bending-Insert-Inspection System)`라는 다소 긴 명칭을 갖고 있다. 

이 장치는 프로브카드에서 반도체칩과 접촉하는 텅스텐 핀의 `검사-벤딩-검사-배열삽입-검사` 등 다섯 가지 정밀 제조 공정을 자동화한 것이 특징이다. 완성된 웨이퍼상의 반도체칩 검사에 쓰이는 프로브카드를 제작하는 핵심 기술을 국산화했다는 의미를 갖는다. 

아울러 자동화까지 달성한 장치는 세계 최초라는 점에서 향후 수출도 기대된다. 

임채용 우리마이크론 연구소장은 "반도체칩 검사에 사용되는 프로브카드는 마이크로 단위의 정밀한 텅스텐 핀 수천 개가 삽입된 장치"라며 "웨이퍼상의 반도체칩과 직접 접촉해 전기적 특성검사를 수행하는 고정밀ㆍ고기술 제품인 만큼 국산화 기술 개발에 어려움이 많았다"고 털어놨다. 우리마이크론 제품의 신뢰성은 핀 타입 프로브카드 분야에서 세계적인 기술 수준을 확보하고 있는 국내 업체를 통해 검증받았다. 또 미국 반도체 웨이퍼 테스트 워크숍에서 최상의 평가를 받으면서 4건의 특허를 출원하는 등 기술적 독보성을 인정받았다. 

최종진 연구원은 "자동화로 숙련된 작업자에 비해 생산성이 5배 뛰어나다는 점 때문에 향후 2~3년간 국내외 시장에서 경쟁자가 없을 것으로 본다"고 밝혔다. 

전기전자기술자협회(IEEE) 등의 시장 조사 자료에 따르면 2011년 전 세계 프로브카드 시장은 약 2조원으로 예상된다. 

■주최 = 매일경제신문사 / 한국산업기술진흥협회 

■후원 = 교육과학기술부 

[김은표 기자]